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【已投動(dòng)態(tài)】御微半導體首臺Halo-100 掩?;迦毕輽z測產(chǎn)品成功發(fā)運

發(fā)布時(shí)間:2024.05.17 作者:彭佳利 來(lái)源: 訪(fǎng)問(wèn)人數:330

近日,我司自管基金投資企業(yè)合肥御微半導體技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“御微半導體”)首臺Halo-100 掩?;迦毕輽z測產(chǎn)品成功發(fā)運,并順利交付國內先進(jìn)掩模廠(chǎng)。

御微半導體自主研發(fā)的Halo-100設備作為御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”產(chǎn)品線(xiàn)的第二款產(chǎn)品,憑借御微多年來(lái)在掩模檢測領(lǐng)域積累的豐富經(jīng)驗和技術(shù)儲備,以高精度光學(xué)系統、高穩定性運動(dòng)臺系統以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統為基礎,結合御微專(zhuān)有的算法和軟件系統,成功實(shí)現了針對掩?;?blank)缺陷檢測的需求,并將掩模檢測的應用領(lǐng)域拓展至掩模廠(chǎng)來(lái)料檢和掩?;鍙S(chǎng)全制程控制檢。 

御微半導體Halo-100掩?;迦毕輽z測產(chǎn)品

我司于2023年初通過(guò)合肥國正多澤產(chǎn)業(yè)投資合伙企業(yè)(有限合伙)投資該企業(yè),另外,國正公司參股基金合肥石溪產(chǎn)恒二期、長(cháng)三角數字基金共同助力御微半導體,未來(lái),國正公司將充分利用資源,為御微半導體提供持續的產(chǎn)業(yè)賦能與支持,護航企業(yè)穩步發(fā)展,推動(dòng)半導體產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展。

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